FD-9104PA硅片抛光机
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- 所属系列:硅片研磨抛光机
- 产品型号:FD-9104PA
产品介绍
FD-9104PA硅片抛光机
主要用途:
广泛用于多种尺寸的硅片的单面抛光及镜面抛光。
设备参数:
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抛光盘尺寸 |
Φ910mm |
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工作工位 |
4组 |
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陶瓷吸盘直径 |
Φ400mm |
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加压方式 |
气缸加压 |
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主电机功率 |
7.5KW/380V |
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工件盘驱动功率 |
0.4KW/380V |
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工作气压 |
0.4-0.6MPa |
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工件盘转速 |
5-40RPM |
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抛光盘转速 |
10-80RPM |
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加工粗糙度 |
Ra:0.0002 |
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设备总重量 |
2300kg |
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外型尺寸(L*W*H) |
1650*1200*2300mm |
该抛光机抛光后的效果:
规格参数
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