陶瓷抛光机抛光蓝宝石晶片的化学机理是怎样的？

日期：2018-01-18 11:05:33　人气：8457

目前，无损超光滑表面的蓝宝石晶片表面加工工艺最好的方法是化学机械抛光。众所周知，蓝宝石衬底其材料的脆性大，硬度仅次于金刚石，在对其进行机械加工十分困难，而要求无损伤超光滑表面技术更加复杂。通常超光滑、无损伤的表面是指：表面粗糙度小于1nmRMS 的表面；无损表面则是：加工表面不能有加工变质层，且表面晶格完整。那么方达旗下的陶瓷抛光机在加工蓝宝石晶片时能达超光滑的镜面效果，是怎样的化学机械抛光机理。化学机械抛光是一个复杂的多反应，它存在着两个动力学过程:

1.反应过程

抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的化学物质与晶片表面进行化学反应。

2.解吸过程

抛光表面反应物脱离蓝宝石晶片表面，在过程中使未反应的蓝宝石单晶重新裸露出来。

在蓝宝石晶片抛光过程中，主要发生水解反应，酸与碱的中和反应及盐的复分解反应。在整个化学机械过程中，化学反应的作用是影响蓝宝石表面的晶格完整和表面粗糙度和平面度的主要因素，而机械作用是影响表面粗糙度和平面度的主要因素。粗糙度和平面度与抛光压力，抛光盘的运动轨迹相关。通过化学反应与机械作用则能获得镜面超光滑的晶片表面。

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