最适合蓝宝石晶片高精密加工方法都有那些?
蓝宝石具有硬度高,脆性大,化学性稳定是作为光学材料的优良,但同时也是加工的难点。想要获得加工表面超光滑的蓝宝石,可以采用以下加工方法:
1.水合抛光水合抛光其原理是:在陶瓷抛光机加工过程中抛光盘与蓝宝石表面产生的摩擦,接触点产生高温高压,蓝宝石表面的原子呈活性化,利用过热水蒸汽气分子和水作用其表面,使之在界面上形成水合化学反应层,再借助过热水的水蒸气,利用两者的摩擦力去除蓝宝石表面的水合层,从而达到超精密加工表面。是一种利用工件在界面生成水化学反应的抛光方法。在整个加工过程中没有使用磨料与抛光液,从而避免了工件产生表面划伤的现象。整个加工过程比较绿色环保。
2.激光抛光激光抛光蓝宝石的原理是:通过激光与蓝宝石的热作用与光化学作用,可以分为冷、热抛光两种方法。冷抛光采用短波长激光来化学分解去除材料,蓝宝石表面材料吸收光分子后,表面材料结构会被破坏,从而使表面材料离开本体实现材料的去除。热抛光一般采用连续长波长激光,通过融化,蒸发等方式去除材料表面成分,但其热温度梯度大,热应力大容易导致裂纹产生与表面粗糙度大等,比较适合粗抛光。而冷抛光过程其热应力小,很少会产生裂纹适合超精密抛光。
上面只是众多加工方法其中最为合适的两种,未来的研磨行业朝节能环保方向发展是必然的趋势。
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